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WO2012161270A1 - 洗浄剤および ... - Google Patents

本発明は、上記問題を解決するためになされたもので、ガラス基板の平坦性を損なうことなく、その表面に残留および/または付着した研磨砥粒を分散して除去することができるガラス基板用洗浄剤、およびガラス基板の洗浄方法を提供することを目的としている。

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